沼澤くん (D2) が自身の修士論文である 「MEMS X線光学系の配置精度評価に関する研究」をまとめた論文が JJAP 誌に掲載されました。
本論文では MEMS X線光学系の製作プロセスにおいて、光学系の配置精度劣化の主要素と考えられている高温塑性変形プロセスに注目しています。同プロセスの配置精度に対する寄与を切り分けるとともに、新たに非接触式表面形状測定器を用いて評価する手法を確立しました。本手法はX線ビームラインを用いた従来の手法に比べ、圧倒的に簡便な評価を可能にし、同時に今後の開発サイクルの迅速化を期待しうるものです。
※ 配置精度: X線望遠鏡の角度分解能 (目の良さ) の成因の一つ。全反射鏡一枚一枚の設計配置からのずれによって集光像のぼやけを招く。(cf. 形状精度)
Title : Evaluation of alignment error of micropore X-ray optics caused by hot plastic deformation
Authors : Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Yuichiro Ezoe, Kazuma Takeuchi, Masaru Terada, Maiko Fujitani, Kumi Ishikawa, Kazuo Nakajima, Kohei Morishita, Takaya Ohashi, Kazuhisa Mitsuda, Kasumi Nakamura and Yusuke Noda
Link: http://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.57.06HJ11/meta
