武内くん (2017年度修士卒) は修論で MEMS X線光学系の原子層堆積法 (ALD) プロセスを用いた光学系鏡面への Pt 膜付を完成させ、本関連研究で初めて Pt 膜付による反射率の向上を実証しました。
その成果を修論執筆と並行して論文にまとめ、この度 Applied Optics 誌に掲載されました。
本論文は同誌の Editor’s pick に選ばれています (https://www.osapublishing.org/ao/issue.cfm?volume=57&issue=12)。
Title : Pt thermal atomic layer deposition for silicon x-ray micropore optics
Authors : Kazuma Takeuchi, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Masaru Terada, Daiki Ishi, Maiko Fujitani, Mark J. Sowa, Takaya Ohashi, and Kazuhisa Mitsuda
Link : http://65.202.222.105/ao/abstract.cfm?uri=ao-57-12-3237
