当研究室の福島碧都くんが 2021/9/10-13 にオンラインで開催された第82回 応用物理学会 秋季学術講演会で放射線分科会 学生優秀講演賞を受賞しました。
講演の内容は以下の通りです。
タイトル：原子層堆積法を用いた Co 成膜 Si 光学系のX線反射率評価
MEMS X線光学系では、X線反射率 (感度) 向上のため、原子層堆積法 (Atomic Layer Deposition: ALD) による重金属成膜が不可欠です。本研究チームでは地球磁気圏X線撮像計画 GEO-X に向けて軟X線帯域での特性に優れる Co (コバルト) の成膜に新たに挑戦し、Si (シリコン) 表面に 50 nm の Co 膜付に成功しました。さらに JAXA 宇宙研 30 m ビームラインを使ってX線を照射したところ、高い反射率を示し、GEO-X 要求を満たす平滑な膜であることも実証しました。
当チームの金属成膜プロセスに関しては、2019年の応用物理学会 講演奨励賞 (福島くん・当時M1)、2020年の地球電磁気・地球惑星圏学会 学生発表賞 (伊師くん・当時D2) に続いての受賞となり、各方面から注目を集めています。
