Jun Ishtar (D2) のプラズマ原子層堆積法 (Atomic Layer Deposition: ALD) による MEMS X線光学系の Pt 膜付に関する論文が応用物理学会のレター記事である Applied Physics Express 誌に掲載されました。
MEMS X線光学系開発チームでは、高アスペクト構造体に重金属を成膜できる ALD 技術で Ir や Pt による X線反射率の向上を実証してきましたが、表面粗さの増加が見られており、いかに平滑な金属薄膜を実現するかが課題でした。In this study、従来のサーマル ALD 方式と比べて滑らかな膜が期待できるプラズマ ALD 方式を試し、Pt 膜の表面粗さが有意に改善することを実証しました。これは MEMS X線光学系のみならず、他の宇宙・地上用の小型・軽量X線光学系に応用可能です。Please refer to the following articles for more information。
Applied Physics Express: https://doi.org/10.35848/1882-0786/aba7a5
