Numazawa-kun (D2) Ci documento riassume i è una tesi di laurea di un proprio "La ricerca sulla valutazione precisione il posizionamento del sistema ottico MEMS a raggi X" è stato pubblicato sulla rivista JJAP。
In questo lavoro nel processo di fabbricazione del sistema ottico MEMS raggi X、Facciamo il processo di deformazione plastica a temperatura elevata che è considerato gli elementi principali della precisione del posizionamento deterioramento del sistema ottico。Insieme isolare il contributo per l'accuratezza disposizione del processo、E stabilito un metodo per valutare recente utilizzando il dispositivo di misurazione forma della superficie senza contatto。Questa tecnica rispetto al metodo convenzionale impiegando la linea di luce a raggi X、Per consentire la stragrande maggioranza semplice valutazione、E 'ciò che ci si può aspettare per accelerare il futuro del ciclo di sviluppo, allo stesso tempo。
※ accuratezza disposizione: risoluzione angolare del telescopio a raggi X (buon occhio) Uno della genesi。Essa conduce alla sfocatura dell'immagine convergente dalla deviazione dal posizionamento totale uno specchio di riflessione per un disegno。(cf. Forma accuratezza)
Title : Valutazione di errore di allineamento di micropori ottica a raggi X causata dalla deformazione plastica a caldo
Authors : Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Yuichiro Ezoe, Kazuma Takeuchi, Masaru Terada, Maiko Fujitani, Kumi Ishikawa, Kazuo Nakajima, Kohei Morishita, Takaya Ohashi, Kazuhisa Mitsuda, Kasumi Nakamura e Yusuke Noda
Link: http://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.57.06HJ11/meta
