Numazawa-kun (D2) Es Papier fasst die ein Master-These ist von seiner eigenen „Forschung über die Platzierungsgenauigkeit Auswertung von MEMS-Röntgenoptik“ wurde in der Zeitschrift JJAP veröffentlicht。
In diesem Papier in dem Herstellungsprozess der MEMS-Röntgenoptik、Wir konzentrieren uns auf Hochtemperatur-Kunststoff-Verformungsverfahren, die die Hauptelemente der Platzierungsgenauigkeit eine Verschlechterung des optischen Systems betrachtet wird。Zusammen isoliert den Beitrag zur Anordnung Genauigkeit des Verfahrens、Und etablierte ein Verfahren zur Auswertung der neu berührungslosen Oberflächenform-Messvorrichtung unter Verwendung von。Diese Technik ist als das herkömmliche Verfahren der Röntgenstrahllinie unter Verwendung von、Damit die überwiegend einfache Auswertung、Es ist das, was erwartet werden kann, in der Zukunft des Entwicklungszyklus zur gleichen Zeit beschleunigen。
※ Anordnungsgenauigkeit: Winkelauflösung von Röntgenteleskop (gutes Auge) Einer der Genese。Es führt zu durch Abweichung von der Platzierung des konvergierten Unschärfen eines Totalreflexionsspiegel durch ein Design。(cf. Formgenauigkeit)
Title : Bewertung der Ausrichtfehler der Mikropore Röntgenoptik durch heiße plastische Verformung hervorgerufen
Authors : Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Yuichiro Ezoe, Kazuma Takeuchi, Masaru Terada, Maiko Fujitani, Kumi Ishikawa, Kazuo Nakajima, Kohei Morishita, Takaya Ohashi, Kazuhisa Mitsuda, Kasumi Nakamura und Yusuke Noda
Link: http://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.57.06HJ11/meta
