ALD/ALE2022 (6/26-29) fand in Gent, Belgien, statt。Japanische Gesellschaft für Angewandte Physik @ Online、Japanische Gesellschaft für Angewandte Physik @ Online。Es war das erste Mal seit langer Zeit, dass die Konferenz vor Ort stattfand, sodass ich Forschungspräsentationen direkt zuhören konnte.、Es war eine wertvolle Erfahrung。

Pt-beschichtete Si-Röntgenoptik mit Plasma-Atomschichtabscheidung für die GEO-X-Mission

・ Yukine Tsuji (M1) „Co-beschichtete Si-Röntgenoptik mit Atomlagenabscheidung“

HP von ALD/ALE2022

https://ald2022.avs.org